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鄭州煒盛電子科技有限公司

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MEMS熱式氣體流量傳感器及其應(yīng)用選型

2023-12-20 09:49:21


熱式氣體流量傳感器簡介


熱式氣體流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類傳感器,利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質(zhì)進(jìn)行流量監(jiān)測。


流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成,熱偶堆對稱分布在加熱電阻的上、下游,加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。



加熱電阻對熱偶堆的熱結(jié)進(jìn)行加熱,熱偶堆熱結(jié)和冷結(jié)之間的溫度梯度導(dǎo)致輸出電壓。當(dāng)流體靜止時,加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的;當(dāng)流體從右向左流動時等溫線向左側(cè)傾斜,加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同,溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定 。


由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān),因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。




熱式氣體流量傳感器特點及應(yīng)用


熱式氣體流量傳感器利用比較簡單的構(gòu)造來準(zhǔn)確地測量氣體的質(zhì)量流量,具有結(jié)構(gòu)簡單、壓損小、量程范圍寬等優(yōu)點,在工業(yè)過程控制、醫(yī)療設(shè)備、便攜式儀器、環(huán)境監(jiān)測設(shè)備等領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。




  • 新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)

  • 精度高,響應(yīng)速度快,重復(fù)性好

  • 可精確測量極小流量

  • 經(jīng)過完全校準(zhǔn)和溫度補償




熱式氣體流量傳感器選型



熱式氣體流量傳感器是一種廣泛應(yīng)用于氣體流量測量領(lǐng)域的設(shè)備,具有精度高、穩(wěn)定性好、響應(yīng)速度快等優(yōu)點。在選型時,需要根據(jù)實際應(yīng)用場景、氣體性質(zhì)等方面進(jìn)行綜合考慮。


不同的應(yīng)用場景對氣體流量傳感器的需求不同。例如,在工業(yè)生產(chǎn)過程中,需要對氣體流量進(jìn)行精確控制,以確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定性和產(chǎn)品質(zhì)量;而在環(huán)保監(jiān)測領(lǐng)域,需要測量各種氣體污染物排放量,以評估環(huán)境污染程度。因此,在選型時,需要明確實際應(yīng)用場景,以便選擇合適的傳感器。

其次,我們需要考慮氣體性質(zhì)。不同的氣體具有不同的物理性質(zhì)和化學(xué)性質(zhì),對傳感器的測量精度和穩(wěn)定性都會產(chǎn)生影響。例如,有些氣體具有腐蝕性,會對傳感器造成損害;有些氣體密度較小,容易在管道中產(chǎn)生渦流和紊流,影響測量精度。因此,在選型時需要充分了解氣體性質(zhì),以便選擇適合的氣體流量傳感器。


煒盛科技流量傳感器是基于先進(jìn)的MEMS硅工藝制成的熱式質(zhì)量流量傳感器,具有功耗低、體積小、無需穩(wěn)壓補償、抗沖擊、穩(wěn)定可靠等特點,為醫(yī)療、儀器、自動化、燃?xì)庥嬃康阮I(lǐng)域的氣體流量檢測提供傳感器解決方案。



MEMS熱式氣體流量傳感器FR系列


型號

FR03

FR03H

產(chǎn)品圖


_

表貼式結(jié)構(gòu)

通徑D ?3mm

最大流量

500L/min 

@20℃ 101.325kPa

5L/min 

@20℃ 101.325kPa

測量精度

[25 ,500]mL/min:±2.5%

[0,25) mL/min:±0.5%FS

[0.15,5]L/min :±2.5%

[0,0.15)L/min:±0.5%FS

重復(fù)性

0.50%

輸出方式

數(shù)字 IIC 或模擬電壓

數(shù)字 IIC 或線性模擬電壓

信號刷新時間

≤1ms

信號響應(yīng)時間

≤3ms

測量介質(zhì)

干燥潔凈的非腐蝕性氣體

電氣接口

PH2.0-5P 

插接式連接器

PH2.0-5P 插接式連接器或2.54mm-5P 插針

應(yīng)用

分析儀、空氣采樣器、粒子計數(shù)器、消毒機等


型號

FR06

FR08

產(chǎn)品圖


_

?6-G1/8 氣動接頭

?8PU管

最大流量

20L/min 

@20℃ 101.325kPa

50L/min (優(yōu)選) 

100L/min(可選) @0℃101.325kPa

測量精度

[0.6 ,20]L/min:±2.5%

[0,0.6) L/min:±0.5%FS

±(2+0.5FS)%

重復(fù)性

0.50%

輸出方式

數(shù)字 IIC 或模擬電壓

信號刷新時間

≤1ms

信號響應(yīng)時間

≤3ms

測量介質(zhì)

干燥潔凈的非腐蝕性氣體

電氣接口

PH2.0-5P 

插接式連接器

PH2.0-5P端子

應(yīng)用

空氣采樣器/分析儀、粒子計數(shù)器、便攜式儀器等各類氣體測量

工業(yè)過程控制、空氣和環(huán)境保護(hù)等領(lǐng)域的氣體流量檢測


型號

FR15

FR20

產(chǎn)品圖


_

?15mm 通徑

?20mm通徑

最大流量

240L/min 

@20℃ 101.325kPa 

200L/min 

@20℃ 101.325kPa

測量精度

9L/min~240L/min:±2.5% 

0~9L/min:

 ±0.5%FS 

9L/min~200L/min:±2.5%

0~9L/min :

±0.5%FS

重復(fù)性

0.50%

輸出方式

數(shù)字 IIC 和線性模擬電壓

數(shù)字 IIC 或線性模擬電壓

信號刷新時間

≤1ms

信號響應(yīng)時間

≤3ms

測量介質(zhì)

干燥潔凈的非腐蝕性氣體

電氣接口

傳感器:

Molex 87831-1041 

引 線:

Molex 87832-1010 

PH2.0-5P插接式連接器

應(yīng)用

重癥呼吸機/轉(zhuǎn)運呼吸機等

醫(yī)療領(lǐng)域呼吸機、麻醉機、氣腹機等及工業(yè)過程檢測


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