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MEMS 傳感器是采用微電子和微機械技術工藝制造出的微型傳感器。與傳統(tǒng)傳感器需要多種機械配件相比，MEMS 技術可以把配件全部集成在一塊很小的 MEMS 芯片上，具有輕重量、功耗低和批量生產的特點，滿足了小體積、高性能的要求。
作為專業(yè)的傳感器解決方案提供商，煒盛科技在MEMS傳感器方面碩果累累，有基于MEMS工藝的氣體傳感器、溫濕度傳感器、熱式流量傳感器、塑封壓力傳感器、熱電堆傳感器等多品類MEMS產品及解決方案，并以優(yōu)秀的品質贏得了市場的廣泛贊譽。
GM系列氣體傳感器
MEMS氣體傳感器由基于MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當環(huán)境空氣中有被檢測氣體存在時，傳感器的電導率發(fā)生變化，該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
MEMS氣體傳感器具有結構堅固，抗震性好、尺寸小、功耗低、靈敏度高、響應恢復快、驅動電路簡單、穩(wěn)定性好、壽命長等特點?？蓹z測包含燃氣、煙霧、氫氣、一氧化碳、氨氣、硫化氫、酒精、口氣、VOC等多種氣體。
熱電堆溫度傳感器
● 熱電堆溫度傳感器，是基于MEMS工藝將上百對熱電偶串聯而成。利用塞貝克原理，當目標與環(huán)境之間存在溫度差時，傳感器輸出對應的電壓，從而檢測出目標存在或目標的溫度。
熱電堆溫度傳感器具有高紅外響應率、高重復性、高可靠性和穩(wěn)定性的特點。在額溫/耳溫等非接觸體溫測量、家用電器（空調、護發(fā)吹風機、油煙機等）溫度測量與控制以及空氣調節(jié)系統(tǒng)、電力管理系統(tǒng)等領域應用廣泛。
氣體流量傳感器
氣體流量傳感器采用新一代MEMS傳感器芯片技術，利用熱力學原理對流道中的氣體介質進行流量檢測，具有很好的精度與重復性?？删_測量極小流量，精度高，響應速度快，重復性好，經過完全校準和溫度補償，同時具有線性模擬電壓輸出，方便使用。
流量傳感器在醫(yī)療儀器（呼吸機、氧氣機等）、便攜式儀器、工業(yè)過程控制及空氣和環(huán)境保護等領域有著廣泛應用。
塑封壓力傳感器
塑封壓力傳感器是采用高精度MEMS壓力敏感芯片和成熟的生產工藝封裝而成的傳感器。具有尺寸小、精度高、寬工作溫度范圍、常溫高精度等特點。
MEMS塑封壓力傳感器常被應用于手持壓力計、電子血壓計、空壓表、汽車胎壓檢測、過程控制系統(tǒng)、壓力校準儀器、高度計、大氣壓力測量等領域。
溫濕度傳感器
MEMS溫濕度傳感器配有一個ASIC芯片、一個MEMS電容式濕度傳感元件和一個溫度傳感元件。產品的精度、響應時間、測量范圍都有巨大優(yōu)勢。
MEMS溫濕度傳感器可廣泛應用于家電領域（如暖通空調、智能恒溫器、房間監(jiān)視器等）、工業(yè)領域（如汽車、測試及檢測設備、自動控制）及數據記錄器、氣象站、醫(yī)療及其他溫濕度檢測控制相關領域。
MEMS是傳感器乃至整個半導體產業(yè)重要的技術分支，這一技術使各行各業(yè)的制造商能夠在微觀尺度上制造出精確、極其敏感的元件，目前正處于第三次產業(yè)浪潮的爆發(fā)期。
未來，隨著物聯網、人工智能、自動駕駛等新興技術的發(fā)展成熟，MEMS新產品、新功能、新應用也將不斷涌現，帶動MEMS行業(yè)規(guī)模持續(xù)增長！
